강의계획서
| 교과목코드 | JEF02445 | 교과목명 | 고집적박막공정 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 김동훈 |
| 교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | 4학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | dhkim@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 강의 소개, 박막 소개, 박막성장의 기본, 진공 |
| 2주차 | 0, 1차원 나노구조체 |
| 3주차 | 박막기초, 박막 미세구조 |
| 4주차 | 진공, 물리기상 증착법, 중간고사 |
| 5주차 | 물리기상 증착법, 스퍼터링 |
| 6주차 | 스퍼퍼링, 화학기상증착법 |
| 7주차 | ALD, 박막소재의 특성 |
| 8주차 | 박막소재의 특성 분석법-XRD SEM TEM, 기말고사 |
| 9주차 | |
| 10주차 | |
| 11주차 | |
| 12주차 | |
| 13주차 | |
| 14주차 | |
| 15주차 | |
| 16주차 |