강의계획서

교과목 설명 - 코드, 교과명, 학과, 교수, 과정구분, 전화번호등의 내용
교과목코드 JDB01478 교과목명 나노공정개론
강의학과 물리학과 교수 조종원
교수소속 물리학과 이수학년 4학년
과목구분 이론 과정구분
이메일 jwcho@mju.ac.kr 전화번호
테이블 이름 - 주차 및 주제내용
주차 주제
1주차 Orientation & Introduction
2주차 Semiconductor Basics
3주차 Semiconductor Devices
4주차 Vacuum & CMOS Manufacturing
5주차 Top-down approach : Thin Film Growth (CVD)
6주차 Top-down approach : Thin Film Growth (PVD)
7주차 Top-down approach : Lithography
8주차 Mid-term Exam
9주차 Top-down approach : Lithography
10주차 Top-down approach : Advanced Lithography
11주차 Top-down approach : Etch
12주차 Top-down approach : Ion Implant
13주차 Top-down approach : Chemical Mechanical Planarization
14주차 Bottom-up approach : Spontaneous Template-based growth, Self-Assembly
15주차 Final Exam
16주차