강의계획서
| 교과목코드 | JEQ01202 | 교과목명 | 반도체공정 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체공학과 | 교수 | 하상렬 |
| 교수소속 | 반도체공학과 | 이수학년 | 2학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | continuum@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체 소개 |
| 2주차 | 반도체 소부장 (소재, 부품, 장비) Industry의 이해 |
| 3주차 | 반도체의 이해 |
| 4주차 | 반도체 공정 개요 |
| 5주차 | Si 웨이퍼 |
| 6주차 | 증착 및 식각 소재 |
| 7주차 | Photo 및 PKG 소재 |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | Thin Film 공정 및 소재 |
| 10주차 | Doping 공정 |
| 11주차 | Metallization 공정 |
| 12주차 | Etching 공정 |
| 13주차 | Lithography 공정 |
| 14주차 | Packaging 공정 |
| 15주차 | 미래 반도체, 기말고사 |
| 16주차 |