강의계획서
| 교과목코드 | SC210002 | 교과목명 | 반도체공정장비실습 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체장비공학과 | 교수 | 민우식 |
| 교수소속 | 반도체공학과 | 이수학년 | |
| 과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
| 이메일 | woosigmin@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체 산업의 발전 동향 |
| 2주차 | 반도체공정기술 Overview |
| 3주차 | 반도체장비팹 구성 |
| 4주차 | 실리콘 단결정 구조 및 제조 방법 |
| 5주차 | 확산 공정 (산화공정, 이온주입공정) |
| 6주차 | 노광공정 |
| 7주차 | 플라즈마와 진공 |
| 8주차 | 증착 공정 이해 |
| 9주차 | 증착공정 및 양산 증착 장비 |
| 10주차 | 식각공정 이해 |
| 11주차 | 식각공정 및 양산 식각 장비 |
| 12주차 | 플라즈마소스 및 부분품 이해 |
| 13주차 | 양산장비 구성 및 이해 |
| 14주차 | Process Integration |
| 15주차 | 평가 (Final Exam) |
| 16주차 |