강의계획서
| 교과목코드 | JEQ01303 | 교과목명 | 반도체장비2 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체공학과 | 교수 | 홍상진 |
| 교수소속 | 반도체공학과 | 이수학년 | 3학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | samhong@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6374 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체장비1 리뷰 |
| 2주차 | 반도체소부장 |
| 3주차 | 플라즈마 |
| 4주차 | Etch 공정장비 Part 1 |
| 5주차 | Etch 공정장비 Part 2 |
| 6주차 | Photo 공정장비 Part 1 |
| 7주차 | Photo 공정장비 Part 2 |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | CMP 공정장비 1 및 주제발표 |
| 10주차 | CMP 공정장비 2 및 산업계 초청강의 |
| 11주차 | Cleaning 공정장비 1 및 주제발표 |
| 12주차 | Cleaning 공정장비 2 및 산업계 초청강의 |
| 13주차 | MI 장비 1 및 주제발표 |
| 14주차 | 후공정 (테스트 패키징) 장비 |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 |