강의계획서

교과목 설명 - 코드, 교과명, 학과, 교수, 과정구분, 전화번호등의 내용
교과목코드 SC210001 교과목명 반도체공정및장비
강의학과 반도체장비공학과 교수 김가람
교수소속 전자공학과 이수학년
과목구분 과정구분 석·박사공통
이메일 garamkim@mju.ac.kr 전화번호 031-324-1257
테이블 이름 - 주차 및 주제내용
주차 주제
1주차 Introduction, Wafer preparation
2주차 Oxidation
3주차 Diffusion
4주차 Ion implant
5주차 Photolithography
6주차 Metallization
7주차 CMP, MOSFET 특성
8주차 중간 고사
9주차 Vacuum
10주차 Plasma
11주차 Sputtering
12주차 CVD
13주차 Etch
14주차 Integration
15주차 기말고사
16주차