강의계획서

교과목 설명 - 코드, 교과명, 학과, 교수, 과정구분, 전화번호등의 내용
교과목코드 DB221844 교과목명 반도체장비요소기술
강의학과 전자공학과 교수 홍상진
교수소속 전자공학과 이수학년
과목구분 과정구분 석·박사공통
이메일 samhong@mju.ac.kr 전화번호 031-330-6374
테이블 이름 - 주차 및 주제내용
주차 주제
1주차 경기도 소재부품장비 연구사업단 상생포럼
2주차 식각장비 요소기술
3주차 반도체 증착장비 요소기술
4주차 RF 플라즈마 진단기술 (산학협력 세미나 리뷰)
5주차 데이터기반의 플라즈마 장비 지능화 기술 (산학협력 세미나 리뷰)
6주차 플라즈마 이론
7주차 플라즈마 이론
8주차 중간고사 (플라즈마)
9주차 진공 및 진공시스템
10주차 플라즈마 소스 및 진단
11주차 RF 기술
12주차 식각 공정 장비 (Etch)
13주차 에싱 공정 장비 (Asher and Strip)
14주차 증착 공정 장비 (PECVD)
15주차 기말고사
16주차